全自動晶圓腐蝕機

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1、晶圓槽式浸泡式腐蝕清洗，特制轉籠晶圓自動旋轉和自轉。
2、工藝結果具備高度的均勻一致性，確保腐蝕效果。
3、工藝過程中完全自動化控制，自主研發控制系統，友好的人機交互界面。
4、氮氣鼓泡功能，運行中氮氣管路可在酸槽內平行均勻移動，鼓泡速率可調節。
5、化學藥液多級精細過濾，循環利用并自動補液功能。
6、具有MES系統的信息交互通訊能力。
7、化學藥液具備InLine加熱冷卻恒溫功能。
8、配置完善的晶圓倒片專用裝置。
9、提供標準的制程解決方案。
10、清洗機通過硬件、軟件配置來較大限度的保護硅片，在異常狀況下設備出現Down機，立刻調動機械手將硅片從化學藥液槽中取出，放至QDR水槽中沖洗，能夠避免化學藥液對硅片的過度腐蝕。在極端條件下，機械手出現Down機，設備立刻將化學藥液槽中的化學藥液排掉，然后注入UPW，從而也能減小化學藥液對硅片的過度腐蝕。
11、加工能力：晶片直徑4英寸至12英寸，每次數量75片/6英寸，50片/8英寸/12英寸
腐蝕精度：平整度增量δTTV≤1.5μm。
使用領域：晶圓減薄，表面腐蝕。